Триметилалюминий (TMA) (Al2(CH3)6) • CAS 75-24-1 • Международн...
Триметилалюминий (TMA) - CAS 75-24-1 - Chemical Product

Триметилалюминий (TMA)

Триметилалюминий (TMA) - CAS 75-24-1 - Chemical Product
Конкурентные цены • Быстрая доставка

Конкурентные цены • Быстрая доставка

Обзор

Триметилалюминий (TMA) для высокодиэлектрических пленок в полупроводниковой промышленности.

Описание продукта

Триметилалюминий (TMA) является ключевым промежуточным веществом, используемым в процессах химического осаждения из газовой фазы (ALD). Он широко используется в электронной и полупроводниковой промышленности для формирования высокодиэлектрических пленок. TMA обладает отличной термической стабильностью и реактивностью, что делает его подходящим для точного и равномерного нанесения пленок.