Триметилборан (TMB)

Триметилборан (TMB) — это газ, используемый в полупроводниковой промышленности как p-типный легирующий агент. Он в основном применяется в процессах Атомного слойного осаждения (ALD), чтобы создать высококачественные тонкие пленки. TMB ценится за способность обеспечивать точный контроль толщины и состава пленки, что делает его необходимым для изготовления следующего поколения электронных устройств.