Гексафторид вольфрама (WF₆)

Тетрафторид вольфрама (WF₆) — бесцветный газ, не поддерживающий горение, используемый в полупроводниковой промышленности. Он служит как травильным агентом, так и предшественником химического осаждения из газовой фазы (CVD) для нанесения слоев вольфрама на кремниевые пластины. Основные применения включают формирование межсоединений в интегральных схемах. Отличается высокой чистотой и эффективностью в процессах нанесения тонких пленок.